檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "黃柏仁".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="洪儒生"
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本研究利用有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)系統,將氮源由傳統MOCVD製程中所使用的氨氣(NH3)改為第三丁基聯胺(tertiarybutylhydrazine, TBHy),來與三甲基銦(tri…
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本論文主要探討如何藉由擴散阻隔層的加入適時阻擋低溫下鋁擴散進入非晶矽/單晶矽異質接合界面,以求得p型背電場形成之同時亦保有高異質接合鈍化效果之目的。我們選用兩種擴散阻隔層:第一種是以5奈米厚的氧化銦…
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本論文主要目的在探討使用矽甲烷為原料的高頻電漿輔助化學氣相沉積輔以不同製程方式來製備氫化非晶矽薄膜於單晶矽晶片上形成異質接合。研究重點在利用高頻電漿並輔以脈衝調變的技術,找出缺陷最少的氫化非晶矽長膜…
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本研究目的在於探討以低壓化學氣相沉積的方式製備具有高光學散射結構的摻鎵氧化鋅薄膜,以及藉由不同之退火模式來提升因低溫成長而不足的薄膜電性,以期用於取代氧化銦錫作為藍光發光二極體的透明導電接觸層。 …